ASTM F 1727-1997 抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程
作者:标准资料网 时间:2024-05-16 15:41:34 浏览:8258
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【英文标准名称】:StandardPracticeforDetectionofOxidationInducedDefectsinPolishedSiliconWafers
【原文标准名称】:抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程
【标准号】:ASTMF1727-1997
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1997
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P;A4
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:抛光硅片氧化诱发缺陷检测标准实施规程
【标准号】:ASTMF1727-1997
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1997
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:3P;A4
【正文语种】:英语
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